И дветеВакуумна помпа и компресорса устройства за обработка на газ, но техните принципи на работа и обхват на приложение са различни.
Основната функция на вакуумната помпа е да се отстрани газът от реакционната камера, за да се намали налягането в контейнера, за да се постигне предварително определена степен на вакуум. Газът се извлича от пространството през механизма за всмукване и изпускане, за да се образува вакуумно състояние. Вакуумните помпи обикновено се използват в лаборатории, производствени и производствени полета. В Fabs на вафли, оборудване за офорт, оборудване за отлагане, оборудване за литография на EUV, оборудване за йонна имплантация, оборудване за откриване и характеризиране и др. Всички трябва да бъдат вакуумирани.
Функцията на компресора е да вдишва газ и да го компресира, да увеличи налягането на газа, да компресира газа в по -малък обем и да увеличи плътността и налягането на газа. Неговият принцип на работа е да компресира газа през изпускателния клапан и след това да постави компресирания газ в резервоар за газ или друго оборудване. Компресорите обикновено се използват в полетата за обработка и производство. CDA газът, за който често говорим, се осигурява от компресора. CDA се използва за контрол на различни оборудване и клапани за автоматизация. За производството на полупроводници CDA трябва да е много чист и сух. Въздухът на въздуха от компресора трябва да премине през сложна система за филтриране, за да премахне маслото, влагата и други частици, за да се гарантира, че няма замърсяване на вафлата.
Какви са категориите наВакуумна помпа и компресор?
В полупроводниково оборудване обикновено се използват сухи помпи и молекулни помпи. Суха помпа се отнася до вакуумна помпа, която не използва течност като уплътняваща или охлаждаща среда, като избягва проблема със замърсяването на маслените пари. Обикновено се използва за груба вакуумна извличане на полупроводниково оборудване. Молекулярните помпи могат да постигнат изключително високи нива на вакуум. Сухите помпи и молекулярните помпи често се използват в комбинация в полупроводниково оборудване, за да задоволят нуждите на различни нива на вакуум.
Компресорите могат да бъдат разделени на бутало, винт, центробежни, въртящи се въздушни компресори и т.н.
Поради различните дизайни и принципите на работа на вакуумната помпа и компресора, вакуумните помпи обикновено не могат да заменят компресорите. Въпреки че вакуумните помпи могат да намалят налягането и плътността на газовете, те не могат да компресират газове в по -малки обеми и по -високо налягане. В допълнение, поради ограничените характеристики на работата и работните характеристики на вакуумните помпи, те са най-подходящи за обработка на газове с ниска плътност и среди с ниско налягане.
Следователно, ако газът трябва да се компресира в по -малък обем и по -високо налягане, трябва да се използва компресор. Напротив, ако трябва да се извлече газът и се образува вакуумно състояние, трябва да се използва вакуумна помпа.
Въпреки че и дветеВакуумна помпа и компресорса устройства, използвани за обработка на газ, има големи разлики в принципа на проектиране и работа. Въпреки че вакуумната помпа може да намали налягането и плътността на газа, тя не може да замени компресора, особено когато газът трябва да се компресира в по -малък обем и по -високо налягане.
